激光干涉儀測量平移軸角度誤差的工作原理

　　激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準，是迄今*的高精度、高靈敏度的測量儀器，在制造領域應用廣泛。

　　

　　該儀器集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時。該儀器采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償。

　　

　　激光干涉儀主要的應用之一就是機床精度檢測，今天小編就給大家介紹一下如何用該儀器測量五軸機床的平移軸角度誤差。

　　

　　五軸機床每根平移軸有三個角度誤差，一個滾動誤差和兩個傾斜誤差。對于滾動誤差，激光干涉儀無法測得，需要用其他設備實現，而傾斜誤差，均可以用干涉儀獲得。角度測量配置主要由主機、角度鏡組、靜態測量軟件等組件構成，可滿足±10°范圍內的角度測量。

　　

　　角度反射鏡與待測的運動軸相連，角度干涉鏡是靜止安裝。激光頭射出一束光至角度干涉鏡，其內部的分光鏡將光束分成兩部分，一部分直接通過干涉鏡，并從角度反射鏡的某一半反射回激光頭。

　　

　　另一條光束則通過角度干涉鏡的角度分光鏡，傳到角度反射鏡的另一半，角度反射鏡使光束通過干涉鏡返回到激光頭。當傾斜誤差發生時，角度反射鏡會有俯仰等運動，即角度反射鏡會相對于固定的角度干涉鏡發生小角度的旋轉。這會導致兩條光束的光程不一致，其差值即可獲取角度誤差的大小。

　　

　　機床旋轉軸精度測量系統包含激光頭，角度干涉鏡和角度反射鏡，與平移軸傾斜誤差測量類似，只不過旋轉軸的角度反射鏡是安裝在轉臺組件上，該組件可以繞中心自身旋轉。因此，在激光干涉儀測量時，待測的旋轉軸向正方向旋轉某一個角度后，轉臺組件會沿著其逆方向準確地旋轉該角度，例如待測軸沿正方向旋轉15°，由于誤差的存在，則可能旋轉（15+Δ）°；此時，轉臺組件會沿著逆方向準確旋轉，即沿負方向旋轉15°，這樣就使得角度干涉鏡可以保持正對著激光頭。而誤差Δ就是旋轉軸的定位誤差。